| 电极设计对SMR电学性能的影响 |
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| 引用本文： | 王诗元,张根,彭春瑞,张小德,秦康宁,钟慧,石玉.电极设计对SMR电学性能的影响[J].压电与声光,2020,42(3):336-339. |
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| 作者姓名： | 王诗元 张根 彭春瑞 张小德 秦康宁 钟慧 石玉 |
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| 作者单位： | （电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 610054） |
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| 基金项目： | 装备预研重点实验室基金资助项目（6142105030604） |
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| 摘 要： | 为了满足射频器件的高频率、高功率和微小型化的需求，该文采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics设计了一个谐振频率为3.455 GHz的牢固安装型谐振器(SMR)二维模型,研究了不同电极面积(200 μm2、150 μm2、100 μm2、50 μm2、25 μm2)对谐振器横向寄生谐振的影响，并对比了上电极变化和上、下电极同时变化对器件横向寄生谐振程度的影响。结果表明，器件在谐振点（3.455 GHz）附近的横向寄生谐振随电极面积的减小而增加，当电极面积为25 μm2时，器件的横向寄生谐振现象最显著；当电极面积的变化量一定时，同时改变上、下电极面积的横向寄生谐振大于只改变上电极面积产生的横向寄生谐振。
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| 关 键 词： | 牢固安装型谐振器 有限元 二维模型 横向寄生谐振 COMSOL |
Effect of Electrode Design on Electrical Performance of SMR |
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| WANG Shiyuan,ZHANG Gen,PENG Chunrui,ZHANG Xiaode,QIN Kangning,ZHONG Hui,SHI Yu.Effect of Electrode Design on Electrical Performance of SMR[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2020,42(3):336-339. |
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| Authors: | WANG Shiyuan ZHANG Gen PENG Chunrui ZHANG Xiaode QIN Kangning ZHONG Hui SHI Yu |
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| Affiliation: | (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | solidly mounted resonator finite element 2D model lateral parasitic resonance COMSOL |
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