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FeGaB磁性薄膜中涡流损耗抑制方法的仿真
引用本文:陈锶,高杨,任万春,彭春瑞,王姮.FeGaB磁性薄膜中涡流损耗抑制方法的仿真[J].压电与声光,2020,42(3):357-360.
作者姓名:陈锶  高杨  任万春  彭春瑞  王姮
作者单位:(1.西南科技大学 信息工程学院,四川 绵阳 621010;2.西南科技大学 微系统中心,四川 绵阳 621010;3.电子科技大学 电子科学与工程学院, 四川 成都 610054)
基金项目:国家自然科学基金资助项目(61574131)
摘    要:在体声波(BAW)磁电天线结构中,磁致伸缩层中的磁性薄膜在高频磁场中产生的感生电流会引起涡流损耗,进而影响天线器件的辐射性能。为了分析和抑制磁性薄膜的涡流损耗,利用有限元仿真法建立了FeGaB磁性薄膜的涡流损耗模型,根据涡流的趋肤效应,同时讨论了磁性薄膜表面和体内的涡流损耗。采用在FeGaB中插入Al2O3薄膜的隔离方法抑制涡流损耗,比较并讨论了Al2O3薄膜的3种不同隔法,分别得到表面和体内涡流抑制的最优隔法。综合考虑总涡流损耗的影响,提出了一种“交叉隔”方式为抑制总涡流损耗的最优隔法。仿真结果表明,采用该优化方法在磁性薄膜中加入10 nm Al2O3薄膜隔离后,总涡流损耗的抑制率高于65%。

关 键 词:体声波磁电天线  磁致伸缩薄膜  FeGaB  涡流损耗  Al2O3

Simulation of Eddy Current Loss Suppression in FeGaB Magnetic Thin Films
CHEN Si,GAO Yang,REN Wanchun,PENG Chunrui,WANG Heng.Simulation of Eddy Current Loss Suppression in FeGaB Magnetic Thin Films[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2020,42(3):357-360.
Authors:CHEN Si  GAO Yang  REN Wanchun  PENG Chunrui  WANG Heng
Affiliation:(1.School of Information Engineering, Southwest University of Science and Technology, Mianyang 621010, China;;2.Microsystems Center, Southwest University of Science and Technology, Mianyang 621010, China;;3.School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China)
Abstract:
Keywords:
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