荧光X射线实验系数法测定ZnO压电簿膜厚度

本法用标准样品的实验值来确定厚度计算公式中的两个系数。它既可测定厚度均匀性较差的ZnO压电薄膜的平均厚度,又可测定它的厚度不均匀性(即某一小区域的薄膜厚度)。 本文介绍了实验系数的确定方法, 给出了ZnO压电薄膜厚度的计算公式。介绍了对提高测量精度有帮助的限光板和样品夹具,计算了本法的绝对误差(不大于700埃)和平均相对误差(不大于5％)。 并将本法与其它厚度测量方法进行了比较和讨论。 其它类似的二元系,三元系,…薄膜,也可参照本法测定它们的厚度。