PT/P(VDF—TrFE)复合膜及悬空结构热释电传感器研究 |
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引用本文: | 李金华,陈燕.PT/P(VDF—TrFE)复合膜及悬空结构热释电传感器研究[J].压电与声光,1998,20(3):190-195. |
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作者姓名: | 李金华 陈燕 |
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作者单位: | 江苏石油化工学院功能材料实验室,香港理工大学应用物理系及材料研究中心 |
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摘 要: | 将溶胶-凝胶法制备的钛酸铅(PT)纳米粉粒掺入聚偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物[P(VDF-TrFE)]中,制成PT/P(VDF-TrFE)复合热释电敏感膜,提高其热释电优值和探测优值。用KOH腐蚀硅衬底使PT/P(VDF-TrFE)敏感膜热释电传感器形成悬空结构。实验结果表明,掺入体积比为0.12PT粉粒的PT/P(VDF-TrFE)敏感膜,比同样成膜条件的P(VDF-TrFE)膜的热释电优值提高20%,探测优值提高35%;悬空结构大大降低了热导,使传感器在低频段的电压灵敏度和电流灵敏度提高了10倍以上。根据实验结果,提出了弱铁电体连续基体与铁电体颗粒均匀复合后,计算复合膜介电系数和热电系数的方法。
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关 键 词: | 复合材料,热释电传感器,共聚物,悬空结构 |
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