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| Ba1-xSrxTiO3热释电梯度厚膜的制备和介电性能研究 | |
| 引用本文： | 范茂彦,姜胜林,谢甜甜,张光祖,张丽芳.Ba1-xSrxTiO3热释电梯度厚膜的制备和介电性能研究[J].压电与声光,2010,32(3). |
| 作者姓名： | 范茂彦 姜胜林 谢甜甜 张光祖 张丽芳 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;玉溪师范学院,信息技术与工程学院,云南,玉溪,653100 2. 华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074 3. 玉溪师范学院,信息技术与工程学院,云南,玉溪,653100 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金委员会基金资助项目，国家"八六三"基金资助项目 |
| 摘 要： | 钛酸锶钡(BST)组分梯度多层厚膜具有较好的综合介电性能,包括适中的介电常数、高的介电温度系数、低的介质损耗等,日益成为红外探测器、微波调制器件的重要候选厚膜材料.采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备Mn掺杂6层不同组分梯度BST厚膜.厚约5 μm.研究了梯度BST厚膜的微观结构及其介电性能.X-射线衍射(XRD)分析表明,当热处理温度为750℃时,得到完整钙钛矿结构的厚膜材料.扫描电镜(SEM)电镜显示,厚膜表面晶粒大小均匀,排列紧密,致密性好,梯度BST厚膜的介电峰温区覆盖常温,介电常数峰值为920,介电损耗约为1.8×10-2. |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶(Sol-Gel)法 Mn掺杂 钛酸锶钡(BST)厚膜 组分梯度 介电性能 |
Fabrication of Gradient Thick Film and Study on Dielectric Property of Pyroelectric Ba1-x SrxTiO3 |
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| FAN Maoyan,JIANG Shenglin,XIE Tiantian,ZHANG Guangzu,ZHANG Lifang.Fabrication of Gradient Thick Film and Study on Dielectric Property of Pyroelectric Ba1-x SrxTiO3[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2010,32(3). | |
| Authors: | FAN Maoyan JIANG Shenglin XIE Tiantian ZHANG Guangzu ZHANG Lifang |
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