| 压电微致动器元件的制作及特性分析 |
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| 引用本文： | 荆阳,雒建斌,路新春. 压电微致动器元件的制作及特性分析[J]. 压电与声光, 2006, 28(2): 147-149 |
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| 作者姓名： | 荆阳 雒建斌 路新春 |
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| 作者单位： | 清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(90206022) |
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| 摘 要： | 目的是设计和制作一种新型压电微致动器,用于高密度硬盘磁头的精确定位。其中,压电元件由传统的或改进的溶胶-凝胶工艺制备并利用反应离子刻蚀成型,压电层厚度范围为0.6~3μm。采用X-射线衍射和原子力显微镜等对PZT薄膜的物相、表面形貌以及颗粒尺寸等进行分析。结果显示,随着PZT层厚度从0.6~3μm的不断增加,其内部颗粒尺寸也相应增大,粗糙度越低。此外,该微致动器的驱动机理通过多普勒干涉仪进行测量。结果表明,对于封装了3μm厚PZT元件的U型微致动器悬臂装置,在±20 V交变电压作用下,微致动位移达到1.146μm,谐振频率超过22 kHz。
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| 关 键 词： | 压电微致动器 PZT元件 硬盘驱动器 溶胶-凝胶法 |
| 文章编号： | 1004-2474(2006)02-0147-03 |
| 收稿时间： | 2004-07-12 |
| 修稿时间： | 2004-07-12 |
Preparation and Properties of Piezoelectric Elements by Sol-Gel Process for Micro-actuator Application |
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| JING Yang,LUO Jian-bin,LU Xin-chun. Preparation and Properties of Piezoelectric Elements by Sol-Gel Process for Micro-actuator Application[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2006, 28(2): 147-149 |
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| Authors: | JING Yang LUO Jian-bin LU Xin-chun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric micro-actuator PZT elements hard disc drives Sol-Gel process |
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