| 密封空气型FBAR温度传感器 |
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| 引用本文： | 丁扣宝,刘世洁,何兴理.密封空气型FBAR温度传感器[J].压电与声光,2012,34(5):649-651. |
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| 作者姓名： | 丁扣宝 刘世洁 何兴理 |
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| 作者单位： | 浙江大学 信电系,浙江杭州,310027 |
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| 摘 要： | 薄膜体声波谐振器(FBAR)是性能优良的压电换能器.通过在体硅刻蚀型FBAR背面密封空气的方法制作了密封空气型FBAR,研究了密封空气型FBAR用作温度传感器的可行性.实验结果表明,在20～100℃的温度范围内,密封空气型FBAR温度传感器的并联谐振频率随温度线性变化,且具有很好的稳定性与可靠性.
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| 关 键 词： | 薄膜体声波谐振器 压电换能器 密封空气型薄膜体声波谐振器(FBAR) 温度传感器 |
FBAR Temperature Sensor with a Sealed Air Room |
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| DING Koubao,LIU Shijie and HE Xingli.FBAR Temperature Sensor with a Sealed Air Room[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2012,34(5):649-651. |
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| Authors: | DING Koubao LIU Shijie and HE Xingli |
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| Affiliation: | (Dept.of lnfo Science & Electronics Engineering,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | film bulk acoustic resonator piezoelectric transducer sealed air room FBAR temperature sensor |
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