| 基于有限元法和色散COM模型的声表面波滤波器联合仿真 |
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| 引用本文： | 郑泽渔,杜雪松,董加和,陈正林,马晋毅.基于有限元法和色散COM模型的声表面波滤波器联合仿真[J].压电与声光,2023,45(2):165-168. |
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| 作者姓名： | 郑泽渔 杜雪松 董加和 陈正林 马晋毅 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060;中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060 ；模拟集成电路国家重点实验室, 重庆 400060 |
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| 摘 要： | 针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题，该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台，结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术，利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器，色散COM模型优化设计纵向耦合谐振器，实现了任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的正向设计与优化。通过42°Y-XLiTaO3常规SAW滤波器的优化设计与研制，设计优化结果与实验结果吻合较好，验证了该方法的有效性和可行性。
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| 关 键 词： | 声表面波(SAW)滤波器 全波仿真 分层级联 遗传算法 |
| 收稿时间： | 2022/10/9 0:00:00 |
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