| 基于声光调制的激光粗糙度测量技术研究 |
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| 引用本文： | 王辉林,刘春晖.基于声光调制的激光粗糙度测量技术研究[J].压电与声光,2013,35(6):797-800. |
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| 作者姓名： | 王辉林 刘春晖 |
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| 作者单位： | （山东理工大学 仪器科学与技术系，山东 淄博 255049） |
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| 摘 要： | 随着机械工件表面加工技术的日益提高，对高质量工件表面粗糙度进行实时、准确测量的需求越来越大。为了满足这一需求，该文提出了一种高精度，实时在线，非接触式测量的方法，建立了基于激光多普勒效应测量表面粗糙的数学模型。该模型中利用激光多普勒原理实现对纳米级微小位移的测量；采用声光调制的方法降低了系统噪声，提高了测量分辨力；通过光外差法的光路减小了外界干扰对测量精度的影响；信号处理过程中采用了高精度频率电压(f/V)转换电路和快速傅里叶变换(FFT)算法有效提高了系统的精度。实验结果表明，该系统用于工件表面粗糙度测量可行，且精度可达1‰。这表明该系统不仅可用来测量表面粗糙度，还可用来校准其他设备。
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| 关 键 词： | 声光调制 激光多普勒 光外差法 表面粗糙度 在线检测 |
Study on Measuring Technology on Surface Roughness Based on Laser Acousto optic Modulation |
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| WANG Huilin and LIU Chunhui.Study on Measuring Technology on Surface Roughness Based on Laser Acousto optic Modulation[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2013,35(6):797-800. |
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| Authors: | WANG Huilin and LIU Chunhui |
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| Affiliation: | (Instrument Science and Technology Dept., Shandong University of Technology, Zibo 255049, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | acousto optic modulation laser Doppler optical heterodyne surface roughness online detection |
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