| 基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器 |
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| 引用本文： | 宫铭举,何庆,汤亮,马军,乔东海,邓越,王孟姣.基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器[J].压电与声光,2009,31(5). |
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| 作者姓名： | 宫铭举 何庆 汤亮 马军 乔东海 邓越 王孟姣 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,声学所声学微机电实验室,北京,100080;天津理工大学,计算机与通信工程学院,天津,300191
2. 中国科学院,声学所声学微机电实验室,北京,100080 |
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| 摘 要： | 在硅微电容式传声器相关理论及前人对方形膜的研究的基础上,提出了一种用于测试低频信号的电容式高灵敏度圆形硅微振动膜传声器.模拟仿真和结构参数优化,为实践提供了理论依据.在此基础上,探索性的研制了圆形振动膜半径为40 mm,气隙厚度为50 μm的低频传声器,实验表明,该传声器具有较高的灵敏度,当偏置电压为6 V、100 Hz时,灵敏度高达-25 dB,在通频带(20～800 Hz)局部平坦.
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 低频 电容式 圆形振动膜 高灵敏度 通频带 |
Research on Condenser High Sensitivity Low-frequency Microphone Based on MEMS |
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| GONG Ming-ju,HE Qing,TANG Liang,MA Jun,QIAO Dong-hai,DENG Yue,WANG Meng-jiao.Research on Condenser High Sensitivity Low-frequency Microphone Based on MEMS[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(5). |
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| Authors: | GONG Ming-ju HE Qing TANG Liang MA Jun QIAO Dong-hai DENG Yue WANG Meng-jiao |
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