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| 锆酸铅薄膜的生长特性与表面化学态 | |
| 引用本文： | 唐振方,蒋力立,刘彭义,孙汪典,唐新桂.锆酸铅薄膜的生长特性与表面化学态[J].压电与声光,2003,25(2):142-145,169. |
| 作者姓名： | 唐振方 蒋力立 刘彭义 孙汪典 唐新桂 |
| 作者单位： | 1. 暨南大学,理工学院,广州,510632 2. 广东工业大学,应用物理系,广州,510090 3. 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050 |
| 基金项目： | 暨南大学青年基金资助项目(640061) |
| 摘 要： | 以醋酸铅和异丙醇锆为原料，乙二醇甲醚为溶剂。通过溶胶-凝胶法和快速退火工艺在Pt(111)／Ti／SiO2／Si(100)基片成功地制备出不开裂的钙钛矿PbZrO3薄膜。用XRD和原子力显微镜测量了薄膜随退火温度变化的结构和表面形貌特征，用XPS测试了650℃退火PbZrO3薄膜的表面化学态。 |
| 关 键 词： | PbZrO3 薄膜 溶胶-凝胶 表面形貌 化学态 |
| 文章编号： | 1004-2474(2003)02-0142-04 |
Growth Characterization and Chemical States of Lead Zirconate Thin Films |
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| Abstract: | |
| Keywords: | PbZrO_3 thin films Sol-Gel surface morphology chemical states |
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