| 液体中基于动态微悬臂梁的质量检测技术 |
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| 引用本文： | 房轩,李艳宁,丁丽丽,史晓杰,傅星,胡小唐.液体中基于动态微悬臂梁的质量检测技术[J].压电与声光,2008,30(3):379-382. |
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| 作者姓名： | 房轩 李艳宁 丁丽丽 史晓杰 傅星 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072 |
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| 摘 要： | 当利用微悬臂梁动态模式的基频谐振在液体环境检测微弱被测量时,液体中的流体动力阻尼导致检测灵敏度降低。针对此问题,提出了利用微悬臂梁的高次谐振进行质量检测的方法。对于相同的被测量质量变化,微悬臂梁的谐振次数越高,其频率偏移越大,从而达到比基频检测法更高的分辨力。以表面修饰三乙基氢硫基十二基铵层(敏感层)的微悬臂梁为传感元件,以CrO42-为被测物,在原子力显微镜上检测了敏感层吸附CrO42-前后,微悬臂梁的5~8次谐波频率的变化情况。结果显示,该质量检测法能检测出约0.82 ng的质量增量。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 微悬臂梁 动态检测 敏感层 |
| 文章编号： | 1004-2474(2008)03-0379-03 |
| 修稿时间： | 2006年11月16 |
A Mass Sensing Technology Based on a Dynamic Microcantilever in Liquid |
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| FANG Xuan,LI Yan-ning,DING Li-li,SHI Xiao-jie,FU Xing,HU Xiao-tang.A Mass Sensing Technology Based on a Dynamic Microcantilever in Liquid[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2008,30(3):379-382. |
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| Authors: | FANG Xuan LI Yan-ning DING Li-li SHI Xiao-jie FU Xing HU Xiao-tang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | atomic force microscopy microcantilever dynamic detection sensitive layer |
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