| 退火对溅射ZnO薄膜光吸收性能的影响 |
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| 引用本文： | 李子全,常春荣,徐芸芸.退火对溅射ZnO薄膜光吸收性能的影响[J].压电与声光,2006,28(5):572-574. |
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| 作者姓名： | 李子全 常春荣 徐芸芸 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学,材料科学与技术学院,江苏,南京,210016 |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射制备了高c轴取向的ZnO薄膜,采用X-射线衍射仪、扫描电镜和紫外-可见光分光光度计研究了退火对ZnO薄膜的结构和光吸收性能的影响。结果表明,退火可以改善ZnO薄膜的质量和光吸收性能。退火后薄膜的结构、形貌和光吸收性能得到改善,薄膜中缺陷减少,晶粒长大致密化,尺寸较均匀;紫外吸收峰变窄,强度增加,吸收边变得陡峭并向长波方向移动,光学带隙降低。450℃退火的ZnO薄膜具有最佳的结晶质量和紫外吸收性能。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 退火 光吸收 |
| 文章编号： | 1004-2474(2006)05-0572-03 |
| 收稿时间： | 2005-04-21 |
| 修稿时间： | 2005年4月21日 |
Effect of Annealing on Optical Absorption of Sputtered ZnO Thin Film |
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| LI Zi-quan,CHANG Chun-rong,XU Yun-yun.Effect of Annealing on Optical Absorption of Sputtered ZnO Thin Film[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2006,28(5):572-574. |
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| Authors: | LI Zi-quan CHANG Chun-rong XU Yun-yun |
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| Affiliation: | Institute of Material Science and Technology, Aeronautics and Astronautics of Nanjing University, Nanjing 210016, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin film heat treatment optical absorption |
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