| 高灵敏度QVBA限位结构设计研究 |
| |
| 引用本文： | 林丙涛,周倩,曾小珊,唐光庆,满欣,周本清,李海.高灵敏度QVBA限位结构设计研究[J].压电与声光,2014,36(4):572-574. |
| |
| 作者姓名： | 林丙涛 周倩 曾小珊 唐光庆 满欣 周本清 李海 |
| |
| 作者单位： | (1.中国电子科技集团公司第26研究所, 重庆 400060;2.中国人民解放军驻重庆气体压缩机厂军事代表室，重庆 400050) |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（41174162） |
| |
| 摘 要： | 石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石英摆片的最大位移量进行限制以提高器件的抗冲击性能,又可增加石英摆片振动过程中的阻尼力以提高器件的抗振动性能,降低了加速度计一阶模态谐振频率的限制条件,有效提高了加速度计的灵敏度。最后依据加速度计的结构特点设计出了相应的工艺制作方案,并加工出了差分结构的加速度计样机,经测试其灵敏度为65.74Hz/g,10min零位稳定性为15.8μg。
|
| 关 键 词： | 石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼 |
Design of High Sensitivity QVBA Restrainer |
| |
| LIN Bingtao,ZHOU Qian,ZENG Xiaoshan,TANG Guangqing,MAN Xin,ZHOU Benqing and LI Hai.Design of High Sensitivity QVBA Restrainer[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2014,36(4):572-574. |
| |
| Authors: | LIN Bingtao ZHOU Qian ZENG Xiaoshan TANG Guangqing MAN Xin ZHOU Benqing and LI Hai |
| |
| Affiliation: | (1.26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Chongqing 400060,China;2.Chinese People Liberation Army Military Deputy Station of Chongqing Gas Lompressor Factory,Chongqing 400050,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | quartz vibrating beam accelerometer sensitivity restrainer differential damp |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《压电与声光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《压电与声光》下载全文 |
|
