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| 单层SiO2和ZrO2薄膜激光辐照损伤的对比 | |
| 引用本文： | 章春来,郭袁俊,吕海兵,袁晓东,蒋晓东,祖小涛.单层SiO2和ZrO2薄膜激光辐照损伤的对比[J].压电与声光,2011,33(1):115-118,122. |
| 作者姓名： | 章春来 郭袁俊 吕海兵 袁晓东 蒋晓东 祖小涛 |
| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;电子科技大学,物理电子学院,四川,成都,610054 2. 电子科技大学,物理电子学院,四川,成都,610054 3. 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 |
| 基金项目： | 国家“八六三”基金资助项目(2008AA8040508); 中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(ZYGX2009X007) |
| 摘 要： | 分别采用物理气相沉积和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了4块光学厚度相近的SiO2和ZrO2单层膜.分别采用椭偏仪、透射式光热透镜和原子力显微镜对两类薄膜的孔隙率、热吸收和微观表面形貌进行了表征;利用Nd:YAG激光器测试了样品的激光损伤阈值(LIDT;1064 nm/8.1 ns),并用光学显微镜观察了两类薄膜的损伤形... |
| 关 键 词： | SiO2/ZrO2薄膜 孔隙率 热吸收 激光损伤阈值 损伤形貌 |
Contrast Study of Laser-induced Damage of Monolayer SiO2 and ZrO2 Films |
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| ZHANG Chunlai,GUO Yuanju,LV Haibing,YUAN Xiaodong,JIANG Xiaodong,ZU Xiaotao.Contrast Study of Laser-induced Damage of Monolayer SiO2 and ZrO2 Films[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2011,33(1):115-118,122. | |
| Authors: | ZHANG Chunlai GUO Yuanju LV Haibing YUAN Xiaodong JIANG Xiaodong ZU Xiaotao |
| Affiliation: | ZHANG Chunlai1,2,GUO Yuanjun2,LV Haibing1,YUAN Xiaodong1,JIANG Xiaodong1,ZU Xiaotao2(1.Research Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621900,China,2.School of Physical Electronics,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | SiO2/ZrO2 films porous ratio thermal absorption LIDT damage morphology |
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