| 新型二维压电驱动微动工作台的设计分析 |
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| 引用本文： | 刘品宽,曲东升,王莉,孙立宁.新型二维压电驱动微动工作台的设计分析[J].压电与声光,2002,24(1):31-34. |
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| 作者姓名： | 刘品宽 曲东升 王莉 孙立宁 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,机器人研究所,哈尔滨,150001
2. 哈尔滨工业大学分析测试中心,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目 (2 983 3 0 70 )，国家自然科学基金资助项目 (5 0 175 0 19) |
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| 摘 要： | 研究开发了一种新型压电驱动二自由度纳米级微定位工作台。文章采用静力学理论对微动工作台的运动副进行了建模分析，推导出直角平行板柔性铰链的刚度计算表达式。采用有限元分析方法，对柔性铰链和微动工作台的静、动态力学特性数值分析，并对微动工作台的模态频率进行了实验测试。理论分析、有限元计算和实验结果的一致性说明理论分析的正确性和数值分析的可靠性。
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| 关 键 词： | 压电驱动 纳米级微定位 柔性铰链 有限元分析 设计 微动工作台 |
| 文章编号： | 1004-2474(2002)01-0031-04 |
| 修稿时间： | 2001年11月15 |
Design and Analysis of 2-DOF Nanopositioning Stage Drived by PZT |
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| LIU Pin kuan ,QU Dong sheng ,WANG Li ,SUN Li ning.Design and Analysis of 2-DOF Nanopositioning Stage Drived by PZT[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2002,24(1):31-34. |
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| Authors: | LIU Pin kuan QU Dong sheng WANG Li SUN Li ning |
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| Affiliation: | LIU Pin kuan 1,QU Dong sheng 1,WANG Li 2,SUN Li ning 1 |
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| Abstract: | A novel 2 DOF nanopositioning stage drived by PZT is developoed.In this paper,the theory of general mechanics is used to analyse the flexure hinge of stage,and the stiffness of righ angle flexure hinge is derived.The numerical analysis on static and dynamic behavior of the hinge and the stage is carried by using the finite elements method(FEM),and the experimental analysis is performed to measure the modal frequencies of the stage.The consistency of the theory,numerical and experimental results proved the accuracy of theory model and the validity of the FEM analysis. |
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| Keywords: | piezo actuator(PZT) nanopositioning flexure hinge FEM |
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