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压电陶瓷频率响应及振动面幅值激光外差测量
引用本文:王凯旋,武俊峰,舒风风.压电陶瓷频率响应及振动面幅值激光外差测量[J].压电与声光,2021,43(5):680-683.
作者姓名:王凯旋  武俊峰  舒风风
作者单位:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033 ;中国科学院大学,北京 100049
基金项目:南京市科技创新基金资助项目(20200406kc)
摘    要:压电陶瓷已广泛应用于检测、通讯等各个领域。该文采用外差式激光干涉测量法,开展了压电陶瓷振动特性研究。首先给出了激光外差干涉测振仪测试压电陶瓷振动特性的测量方法,并通过实验测得了压电陶瓷片单点振动的频率响应曲线,同时测量了径向直线上若干点的振动频响曲线,进而进行了整个压电陶瓷圆环表面在其谐振频率点的振动测量。实验结果表明,实测压电陶瓷片的谐振频率为30 710 Hz,与其产品标定值30 000 Hz存在710 Hz偏差。其圆环表面振动的振型具有不对称性,这对压电陶瓷的应用设计提供了指导意义。

关 键 词:激光干涉仪  压电陶瓷  外差检测  振动分析  频率响应  信号处理
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