| 压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究 |
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| 引用本文： | 孙涛,谭久彬,董申.压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究[J].压电与声光,1999,21(6):493-497. |
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| 作者姓名： | 孙涛 谭久彬 董申 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001
2. 哈尔滨工业大学,计算机与电气工程学院,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学重点基金!59835180 |
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| 摘 要： | 对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究，并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线。经测试，通过闭环控制的定位重复性精度在-１５ｎｍ～＋１５ｎｍ以内，采取这些关键技术措施是可行的。
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| 关 键 词： | 超精密定位 微位移 压电陶瓷驱动器 柔性铰链 电容传感器 |
| 修稿时间： | 1999-04-12 |
Study of Key Technique on Ultraprecision Positioning with PZT |
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| SUN Tao,TAN Jiu-bin,DONG Shen.Study of Key Technique on Ultraprecision Positioning with PZT[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,1999,21(6):493-497. |
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| Authors: | SUN Tao TAN Jiu-bin DONG Shen |
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| Abstract: | The key techniques of ultraprecision 2D flexible positioning with PZT actuator areanalyzed in theory and studied by experiment.The duplex static and dynamic characteristic curvesare gained. By tests,the position repeatability of closed loop control is -- 15 nm-- 15 nm. So thekey techniques are feasible. |
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| Keywords: | ultraprecision position micro-displacement PZT flexible hinge capacitive sensor |
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