| 基于COMSOL的复合膜结构中SAW传播特性分析 |
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| 引用本文： | 张祖伟,曾飞,马晋毅,任彦宇,杨靖,陈彦光.基于COMSOL的复合膜结构中SAW传播特性分析[J].压电与声光,2016,38(3):356-359. |
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| 作者姓名： | 张祖伟 曾飞 马晋毅 任彦宇 杨靖 陈彦光 |
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| 作者单位： | (1.中国电子科技集团公司第二十六研究所，重庆 400060；,2.中国电子科技集团公司 重庆声光电有限公司，重庆 400060；,3.重庆市第八中学校，重庆 400030 ) |
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| 摘 要： | 该文以金刚石/氮化铝/二氧化硅复合膜结构中声表面波的传播特性为研究对象,利用COMSOL软件建立复合膜有限元模型并进行模拟仿真,根据仿真结果计算得出复合膜结构中声表面波的相速度色散曲线和积淀耦合系数曲线,分析了氮化铝、二氧化硅和铝电极膜厚对声表面波传播特性的影响。
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| 关 键 词： | 声表面波 复合膜结构 COMSOL 仿真 色散特性 |
Analysis of Surface Acoustic Wave Propagation Property in Multilayered Structures Based on COMSOL |
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| ZHANG Zuwei,ZENG Fei,MA Jinyi,REN Yanyu,YANG Jing and CHEN Yanguang.Analysis of Surface Acoustic Wave Propagation Property in Multilayered Structures Based on COMSOL[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2016,38(3):356-359. |
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| Authors: | ZHANG Zuwei ZENG Fei MA Jinyi REN Yanyu YANG Jing and CHEN Yanguang |
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| Affiliation: | (1. 26th Institute of China Electronic Technology Group Corporation, Chongqing 400060, China;,2.Chongqing Acoustic Optic Electric Corporation, China Electronic Technology Group Corporation, Chongqing 400060, China;,3. Chongqing No.8 Secondary School, Chongqing 400030, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface acoustic wave multilayered structure COMSOL simulation dispersion property |
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