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| Zr过渡层对Al膜微结构与性能的影响 | |
| 引用本文： | 李冬梅,王旭波,潘峰,牛洁斌,刘明.Zr过渡层对Al膜微结构与性能的影响[J].压电与声光,2005,27(2):152-155,163. |
| 作者姓名： | 李冬梅 王旭波 潘峰 牛洁斌 刘明 |
| 作者单位： | 1. 清华大学,材料系,先进材料教育部重点实验室,北京,100084;新疆大学,化学化工学院,新疆,乌鲁木齐,830046 2. 清华大学,材料系,先进材料教育部重点实验室,北京,100084 3. 中国科学院,徽电子研究所,北京,100029 |
| 基金项目： | 国家高技术"八六三"计划资助项目(2002AA325040)和教育部重大科技资助项目(0303) |
| 摘 要： | 为了增加高频声表面波器件用Al薄膜的功率承受力以及与基体的附着力，同时不增加薄膜在化学反应刻蚀中的难度。并精确地控制图形的尺寸。采用电子束蒸镀法研究了Zr过渡层和薄膜固化工艺对Al膜微结构、形貌、电性能及机械性能的影响。结果表明。适当厚度(5-30nm)的Zr过渡层增强了Al膜的(111)织构，增加了薄膜与LiNbO3基体的结合力，200℃固化后电阻率明显降低．拥有Zr过渡层的Al膜具有良好的工艺性能，通过反应离子刻蚀易获得精确的换能器图形． |
| 关 键 词： | Al膜 Zr过渡层 附着力 电阻 |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)02-0152-04 |
The Effects of Zr Underlayer on the Microstructure and Properties of Al Films |
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| LI Dong-mei,WANG Xu-bo,PAN Feng,NIU Hao-bin,LIU Ming.The Effects of Zr Underlayer on the Microstructure and Properties of Al Films[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2005,27(2):152-155,163. | |
| Authors: | LI Dong-mei WANG Xu-bo PAN Feng NIU Hao-bin LIU Ming |
| Abstract: | |
| Keywords: | Al thin films Zr underlayer adhesion resistivity |
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