| 纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究 |
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| 引用本文： | 倪鹤南,侯安州,李敏,徐爱兰,惠春.纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究[J].压电与声光,2009,31(2). |
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| 作者姓名： | 倪鹤南 侯安州 李敏 徐爱兰 惠春 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海,200030
2. 上海交通大学,生命科学技术学院,上海,200030 |
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| 摘 要： | 采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器.用X-射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面,晶粒平均尺寸为50～60 nm.介电性能测试结果表明,介电常数保持约800,损耗角为0.02.用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性,即串、并联谐振频率分别为2.91 GHz和3.01 GHz,机电耦合系数为8.18%.在敏感元电极上加载1 μL浓度为0.2 μg/μL的磁性微球溶液,谐振频率降低了0.09 GHz.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶(Sol-Gel) 薄膜体声波谐振器 纳米晶PZT薄膜 |
Development of Nanonized PZT Film Bulk Acoustic Resonator |
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| NI He-nan,HOU An-zhou,LI Min,XU Ai-lan,HUI Chun.Development of Nanonized PZT Film Bulk Acoustic Resonator[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(2). |
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| Authors: | NI He-nan HOU An-zhou LI Min XU Ai-lan HUI Chun |
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