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| PZT压电薄膜无阀微泵的制备工艺及实验研究 | |
| 引用本文： | 杜立群,高晓光,董维杰,吕岩.PZT压电薄膜无阀微泵的制备工艺及实验研究[J].压电与声光,2008,30(4). |
| 作者姓名： | 杜立群 高晓光 董维杰 吕岩 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116023 2. 大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116023 3. 大连理工大学,电信工程学院,辽宁,大连,116023 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 辽宁省大连市科研项目 , 辽宁省博士科研项目 |
| 摘 要： | 介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上,对其性能进行了实验研究,结果表明:电压和频率对流速均有显著影响。在7.5 V1、80 Hz的正弦电压驱动下,该压电微泵的最大输出流速为2.05μL/min。该文制作的微泵具有流量稳定,驱动电压较低,性能稳定可靠和易控制等优点,可满足微流体系统的使用要求。 |
| 关 键 词： | PZT压电薄膜 无阀微泵 PDMS泵膜 收缩管/扩张管 |
Study on Fabrication Process and Experiment of Valveless Piezoelectric Micropump Based on PZT Thin Film |
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| DU Li-qun,GAO Xiao-guang,DONG Wei-jie,LV Yan.Study on Fabrication Process and Experiment of Valveless Piezoelectric Micropump Based on PZT Thin Film[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2008,30(4). | |
| Authors: | DU Li-qun GAO Xiao-guang DONG Wei-jie LV Yan |
| Abstract: | |
| Keywords: | PZT piezoelectric thin film valveless micropump PDMS membrane nozzle/diffuse |
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