| 电极对薄膜体声波谐振器性能的影响 |
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| 引用本文： | 焦向全,张睿,马晋毅,杜波,钟慧,石玉. 电极对薄膜体声波谐振器性能的影响[J]. 压电与声光, 2015, 37(3): 373-376 |
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| 作者姓名： | 焦向全 张睿 马晋毅 杜波 钟慧 石玉 |
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| 作者单位： | （1.电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 610054;,2.中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060） |
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| 基金项目： | 国家自然基金资助项目(61101038)；四川关键技术研究发展 基金资助项目(2011GZ0220) |
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| 摘 要： | 采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics仿真了三维结构的谐振器,探讨了不同的顶电极形状对谐振器性能的影响。有效机电耦合系数(k2teff)随电极-压电层厚度比增大而减小,其中电极形状为三角形的谐振器在厚度比为0.05时获得最大k2teff(5.73%)。品质因数Q值变化趋势与k2teff相反,由三角形电极在厚度比为0.25时,获得最大Q值为1 314。不同电极形状的谐振器的优值随电极-压电厚度比先增大后减小,最大值为65.4,由正方形电极在比值为0.15时获得。
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| 关 键 词： | 薄膜体声波谐振器 有限元 有效机电耦合系数 品质因数 COMSOL |
Influence of Electrode on the Electrical Characteristics of Film Bulk Acoustic Resonator |
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| JIAO Xiangquan,ZHANG Rui,MA Jinyi,DU Bo,ZHONG Hui and SHI Yu. Influence of Electrode on the Electrical Characteristics of Film Bulk Acoustic Resonator[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2015, 37(3): 373-376 |
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| Authors: | JIAO Xiangquan ZHANG Rui MA Jinyi DU Bo ZHONG Hui SHI Yu |
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| Affiliation: | (1. State Key Lab. of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054, China;,2. 26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Chongqing 400060, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | film bulk acoustic wave resonator finite element effective electromechanical coupling coefficient quality factor COMSOL |
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