| 钛酸锶钡(BST)薄膜的XPS研究 |
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| 引用本文： | 陈宏伟,杨传仁,符春林.钛酸锶钡(BST)薄膜的XPS研究[J].压电与声光,2005,27(2):149-151. |
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| 作者姓名： | 陈宏伟 杨传仁 符春林 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家"九七三"计划基金资助项目(Z01) |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜，对BST／Pt／Ti／SiO3／Si结构进行了XPS深度分析。研究结果表明：制备的BST薄膜内部化学成分基本一致；氧缺位在薄膜体内比表面更严重)Pt底电极向薄膜、衬底之间扩散，BST／Pt及Pt／SiO2之间存在明显的界面过渡层。
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡 薄膜 X-射线光电子能谱（XPS） |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)02-0149-03 |
| 修稿时间： | 2004年7月26日 |
XPS Analysis of Barium Strontium Titanate (BST) Thin Film |
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| CHEN Hong-wei,YANG Chuan-ren,FU Chun-lin.XPS Analysis of Barium Strontium Titanate (BST) Thin Film[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2005,27(2):149-151. |
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| Authors: | CHEN Hong-wei YANG Chuan-ren FU Chun-lin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | barium strontium titanate thin film X-ray photoelectron spectrum (XPS) |
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