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| 10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展 | |
| 引用本文： | 祁娇娇,冯晓宇,陈彦冠,宁提,刘世光,孙浩,康键.10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展[J].红外,2022,43(2):1-6. |
| 作者姓名： | 祁娇娇 冯晓宇 陈彦冠 宁提 刘世光 孙浩 康键 |
| 作者单位： | 华北光电技术研究所,北京100015 |
| 摘 要： | 随着红外技术的进步,红外探测器组件向着更小尺寸、更高分辨率的方向发展.小像元间距、大面阵规格是长波探测器发展的重要方向.通过对10μm像元间距、9μm截止波长、1280×1024阵列规格长波探测器的研究,突破了10μm间距长波像元成结技术、10μm像元间距铟柱制备及互连技术,制备了有效像元率大于等于99.4％、非均匀性小于等于4％的10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器芯片. |
| 关 键 词： | 小间距 1280×1024 长波 碲镉汞 |
| 收稿时间： | 2021/10/12 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/10/31 0:00:00 |
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