| 用于VCSEL的Si基零对比度光栅反射镜研究 |
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| 引用本文： | 郭帅,晏长岭,方铉,郝永芹.用于VCSEL的Si基零对比度光栅反射镜研究[J].红外,2022,43(12):30-36. |
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| 作者姓名： | 郭帅 晏长岭 方铉 郝永芹 |
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| 作者单位： | 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(11474038)；吉林省科技发展计划项目(20200401073GX) |
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| 摘 要： | 利用严格耦合波理论和时域有限差分方法设计了一种应用于940 nm垂直腔面发射激光器的Si基零折射率对比度光栅反射镜。对零对比度亚波长光栅(Zero-index-Contrast subwavelength Grating, ZCG)的高反射特性进行了研究，分析了ZCG实现宽带高反射的条件。此外，讨论了光栅结构参数对反射性能的影响并计算了制作公差，模拟分析了ZCG尺寸与垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, VCSEL)氧化孔径尺寸对镜面损耗的影响。所设计的ZCG带宽可达280 nm, Δλ/λ0=29.8%。该反射镜可以替代VCSEL中传统的分布式布拉格反射镜，降低了工艺难度和生长成本，同时有利于VCSEL与其他Si基光电子器件的集成。
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| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器 零折射率对比度光栅 严格耦合波理论 时域有限差分 |
| 收稿时间： | 2022/9/9 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2022/9/22 0:00:00 |
tudy on Si-Based Zero-Contrast Grating Reflector for VCSEL |
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| GUO Shuai,YAN Chang-Ling,FANG Xuan and HAO Yong-Qin.tudy on Si-Based Zero-Contrast Grating Reflector for VCSEL[J].Infrared,2022,43(12):30-36. |
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| Authors: | GUO Shuai YAN Chang-Ling FANG Xuan and HAO Yong-Qin |
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| Affiliation: | National Key Lab of High-Power Semiconductor Lasers,Changchun University of Science and Technology,National Key Lab of High-Power Semiconductor Lasers,Changchun University of Science and Technology,National Key Lab of High-Power Semiconductor Lasers,Changchun University of Science and Technology,National Key Lab of High-Power Semiconductor Lasers,Changchun University of Science and Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vertical cavity surface emitting laser zero-contrast subwavelength grating rigorous coupled-wave analysis time-domain finite-difference |
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