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用Ⅲ-Ⅴ族氮化物制成的红外探测器
引用本文:
高.用Ⅲ-Ⅴ族氮化物制成的红外探测器[J].红外,2007,28(4):22-22.
作者姓名:
高
摘 要:
本发明提供一种量子阱红外光电探测器,它包括一层衬底、一层缓冲层、第一层导电层、一个多量子阱、一层任选阻挡层和第二层导电层。其中,衬底是用一种单晶体制作的,在器件制备完毕后可以去除掉。其余的膜层则是由Ⅲ-Ⅴ族氮化物构成的。这种量子阱红外光电探测器的优点是,能够敏感正入射和斜入射的近红外至甚远红外波长的光。
关 键 词:
Ⅲ-Ⅴ族
氮化物
红外探测器
量子阱红外光电探测器
多量子阱
导电层
缓冲层
阻挡层
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