| 双层异质结碲镉汞甚长波红外焦平面探测器研究进展 |
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| 引用本文： | 谭振,刘世光,田震,宋淑芳,吴卿,周立庆.双层异质结碲镉汞甚长波红外焦平面探测器研究进展[J].红外,2020,41(6):1-7. |
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| 作者姓名： | 谭振 刘世光 田震 宋淑芳 吴卿 周立庆 |
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| 作者单位： | 华北光电技术研究所 |
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| 摘 要： | 报道了甚长波碲镉汞红外焦平面探测器的最新研究进展。采用水平液相外延In掺杂和垂直液相外延As掺杂技术生长p-on-n异质结材料，并基于湿法腐蚀、表侧壁钝化、In柱互连工艺，制备了第一支甚长波碲镉汞台面型焦平面器件。在60 K的工作温度下，该器件的截止波长达到14.28 μm，有效像元率为94.5%，平均峰值探测率达到8.98×1010 cm·Hz1/2·W-1。
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| 关 键 词： | 双层异质结 甚长波 碲镉汞 红外焦平面探测器。 |
| 收稿时间： | 2020/2/27 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2020/3/18 0:00:00 |
Research Progress of HgCdTe VLWIR Focal Plane Detectors Based on Double-Layer Heterojunction |
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| Tan Zhen,LIU Shi-guang,TIAN Zhen,SONG Shu-fang,WU Qing and ZHOU Li-qing.Research Progress of HgCdTe VLWIR Focal Plane Detectors Based on Double-Layer Heterojunction[J].Infrared,2020,41(6):1-7. |
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| Authors: | Tan Zhen LIU Shi-guang TIAN Zhen SONG Shu-fang WU Qing and ZHOU Li-qing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | double-layer heterojunction very-long-wavelength infrared HgCdTe infrared focal plane detector |
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