非致冷微测辐射热计用Cd1-xZnxS高性能电阻温度系数材料

微测辐射热计是一种红外探测器，它会吸收红外辐射并略微地变热。其电阻是随温度变化的，因而可以被测量和校正。微测辐射热计最常用的材料有VOx和非晶硅，其中非晶硅的动态范围和隔热性能较差，因此基于非晶硅的微测辐射热计的应用目前仅限于消防方面。本发明提供一种电阻热系数高达1．5％-3．7％的Cd1-xZnxS薄膜材料。由于具有优良的特性，它可以在微测辐射热计类非致冷红外传感器中使用。这种薄膜材料可以用MOCVD、热蒸发或其它技术淀积。