| 微透镜阵列的制作及其与图像传感器的集成 |
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| 引用本文： | 赖建军,柯才军,陈四海,易新建.微透镜阵列的制作及其与图像传感器的集成[J].半导体光电,2004,25(3):183-187. |
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| 作者姓名： | 赖建军 柯才军 陈四海 易新建 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 介绍了利用硅、熔融石英和聚酰亚胺等材料制作折射和衍射微透镜阵列的工艺和结果,以及这些微透镜阵列分别与红外、可见光图像传感器的集成应用.微透镜与红外256×256PtSiCCD的集成结果表明,微透镜填充系数提高了2.3倍,成像质量明显改善.
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| 关 键 词： | 微透镜阵列 图像传感器 填充系数 衍射微透镜阵列 材料制作 图像传感器 集成应用 Sensors Image Integration Array 改善 成像质量 填充系数 可见光 红外 结果 工艺 折射 聚酰亚胺 熔融石英 利用 |
| 文章编号： | 1001-5868(2004)03-0183-05 |
| 修稿时间： | 2003年11月12日 |
Fabrication of Microlens Array and Its Integration with Image Sensors |
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| LAI Jian-jun,KE Cai-jun,CHEN Si-hai,YI Xin-jian.Fabrication of Microlens Array and Its Integration with Image Sensors[J].Semiconductor Optoelectronics,2004,25(3):183-187. |
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| Authors: | LAI Jian-jun KE Cai-jun CHEN Si-hai YI Xin-jian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microlens array image sensors fill factor |
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