| 有机/无机杂化SiO2/Si光波导薄膜的制备及表征 |
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| 引用本文： | 王玥,吴远大,李建光,王红杰,胡雄伟. 有机/无机杂化SiO2/Si光波导薄膜的制备及表征[J]. 半导体光电, 2007, 28(4): 525-527 |
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| 作者姓名： | 王玥 吴远大 李建光 王红杰 胡雄伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083;中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 |
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| 摘 要： | 采用有机/无机杂化溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了SiO2光波导薄膜材料.采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(MAPTMS)作为反应先躯体,四丙氧基锆(ZPO)作为调节折射率的材料,正丙醇(n-propyl alcohol)为溶剂,利用旋涂方法在Si基片上成膜,采取低温长时间、高温短时间的热处理方式,制备出无龟裂薄膜.分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下,薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况.研究结果表明:通过调节正丙醇的用量,可以实现薄膜厚度可控;通过调节ZPO的用量,可以实现薄膜折射率可控;薄膜的表面平整度非常好,在5μm× 5μm的扫描范围内,表面粗糙度小于0.430 nm,表面起伏度小于0.656 nm.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 杂化 SiO2 光波导 |
| 文章编号： | 1001-5868（2007）04-0525-03 |
| 修稿时间： | 2006-10-25 |
Fabrication and Characterization of Organic-inorganic Hybrid SiO2/Si Optical Waveguide Thin Film Materials |
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| WANG Yue,WU Yuan-da,LI Jian-guang,WANG Hong-jie,HU Xiong-wei. Fabrication and Characterization of Organic-inorganic Hybrid SiO2/Si Optical Waveguide Thin Film Materials[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2007, 28(4): 525-527 |
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| Authors: | WANG Yue WU Yuan-da LI Jian-guang WANG Hong-jie HU Xiong-wei |
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| Keywords: | sol-gel hybridization SiO2 optical waveguide |
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