| SiO高效减反射膜的蒸镀和监控 |
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| 引用本文： | 刘明大,石家纬.SiO高效减反射膜的蒸镀和监控[J].半导体光电,1993,14(2):172-174,184. |
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| 作者姓名： | 刘明大 石家纬 |
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| 作者单位： | 集成光电子学联合实验室吉林大学实验区，集成光电子学联合实验室吉林大学实验区，集成光电子学联合实验室吉林大学实验区 长春 130023研究员，长春 130023，长春 130023 |
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| 摘 要： | 报道了使用 IL400膜厚速率控制仪监控 SiO 减反射膜的蒸镀,通过对1.3μm 激光器前端面蒸镀 SiO 减反射膜而制成了超辐射发光二极管。
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| 关 键 词： | 发光二极管 蒸镀 控制 高增透膜 |
Evaporation and Monitoring of High-efficiency SiO Antireflective Film |
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| Liu Mingda Shi Jiawei Jin Enshun.Evaporation and Monitoring of High-efficiency SiO Antireflective Film[J].Semiconductor Optoelectronics,1993,14(2):172-174,184. |
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| Authors: | Liu Mingda Shi Jiawei Jin Enshun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Superluminescent Diode Antireflective Film |
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