| 大功率底发射VCSEL出光窗口增透膜的研究 |
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| 引用本文： | 套格套,初国强,宁永强,秦莉,孙艳芳,金珍花,晏长岭,刘云,王立军.大功率底发射VCSEL出光窗口增透膜的研究[J].半导体光电,2004,25(6):445-447. |
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| 作者姓名： | 套格套 初国强 宁永强 秦莉 孙艳芳 金珍花 晏长岭 刘云 王立军 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 吉林省科研项目
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国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 在大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)出光窗口镀制了HfO2增透膜,其透过率达到99.9%.对镀膜材料以及透过率方面进行了比较,介绍了增透膜的制作过程.镀膜后直径为600μm的底发射VCSEL获得了室温连续输出功率为1.63 W,功率转换效率提高了6%.
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| 关 键 词： | 大功率底发射VCSEL 增透膜 等离子体辅助电子束蒸发 功率转换效率 |
| 文章编号： | 1001-5868(2004)06-0445-03 |
| 修稿时间： | 2004年3月16日 |
Antireflection Coatings of High Power Bottom Emitting VCSEL |
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| TAO Ge-tao,CHU Guo-qiang,NING Yong-qiang,QIN Li,SUN Yan-fang,JIN Zhen-hua,YAN Chang-ling,LIU Yun,WANG Li-jun.Antireflection Coatings of High Power Bottom Emitting VCSEL[J].Semiconductor Optoelectronics,2004,25(6):445-447. |
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| Authors: | TAO Ge-tao CHU Guo-qiang NING Yong-qiang QIN Li SUN Yan-fang JIN Zhen-hua YAN Chang-ling LIU Yun WANG Li-jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high power bottom emitting VCSEL antireflection coatings plasma assisted electron beam deposition output efficiency |
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