| 聚合物9×9阵列波导光栅复用器的工艺研究 |
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| 引用本文： | 赵禹,陈开鑫,张大明,崔占臣,王菲,马春生,衣茂斌.聚合物9×9阵列波导光栅复用器的工艺研究[J].半导体光电,2002,23(3):178-181. |
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| 作者姓名： | 赵禹 陈开鑫 张大明 崔占臣 王菲 马春生 衣茂斌 |
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| 作者单位： | 1. 成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学实验区,吉林,长春,130023;2. 吉林大学,化学学院,吉林,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);G2000036604; |
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| 摘 要： | 首次采用铝掩模工艺制备出9×9硅基聚合物阵列波导光栅(AWG)复用器.结果表明,在AWG器件制作工艺上,铝掩模技术明显优于厚胶掩模技术.用这种技术制备的器件,其结构指标与理论设计相符合.
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| 关 键 词： | 聚合物 阵列波导光栅 掩模技术 |
| 文章编号： | 1001-5868(2002)03-0178-04 |
| 修稿时间： | 2002年1月25日 |
Research on Technology of Polymer 9×9 Arrayed Waveguide Grating Multiplexer |
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| ZHAO Yu ,CHEN Kai xin ,ZHANG Da ming ,CUI Zhan chen ,WANG Fei ,MA Chun sheng ,YI Mao bin.Research on Technology of Polymer 9×9 Arrayed Waveguide Grating Multiplexer[J].Semiconductor Optoelectronics,2002,23(3):178-181. |
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| Authors: | ZHAO Yu CHEN Kai xin ZHANG Da ming CUI Zhan chen WANG Fei MA Chun sheng YI Mao bin |
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| Affiliation: | ZHAO Yu 1,CHEN Kai xin 1,ZHANG Da ming 1,CUI Zhan chen 2,WANG Fei 1,MA Chun sheng 1,YI Mao bin 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polymer arrayed waveguide grating mask fabrication technology |
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