| 物理汽相生长并五苯晶体薄膜 |
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| 引用本文： | 张素梅,石家纬,刘建军,刘明大,郭树旭,王伟,赵玲,李靖. 物理汽相生长并五苯晶体薄膜[J]. 半导体光电, 2002, 23(6): 418-420. DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2002.06.016 |
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| 作者姓名： | 张素梅 石家纬 刘建军 刘明大 郭树旭 王伟 赵玲 李靖 |
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| 作者单位： | 吉林大学,集成光电子国家重点实验室,吉林,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;60176022; |
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| 摘 要： | 用物理汽相沉积法在水平系统中生长有机半导体并五苯晶体薄膜.用10～30毫克的源生长出20～30 mm2大小的适合特性测量和器件制备的晶体薄膜.利用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和X射线衍射仪(XRD)等仪器对并五苯晶体薄膜进行了测试分析.
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| 关 键 词： | 物理汽相沉积 晶体薄膜 并五苯 |
| 文章编号： | 1001-5868(2002)06-0418-03 |
| 修稿时间： | 2002-06-18 |
Physical Vapor Growth of Pentacene Crystal Thin Films |
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| ZHANG Su mei,SHI Jia wei,LIU Jian jun,LIU Ming da,GUO Shu xu,WANG Wei,ZHAO Ling,LI Jing. Physical Vapor Growth of Pentacene Crystal Thin Films[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2002, 23(6): 418-420. DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2002.06.016 |
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| Authors: | ZHANG Su mei SHI Jia wei LIU Jian jun LIU Ming da GUO Shu xu WANG Wei ZHAO Ling LI Jing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | physical vapor deposition crystal thin film pentacene |
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