| TbDyFe-FeNi多层膜/光纤磁传感器磁敏性能实验研究 |
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| 引用本文： | 吕凤军,斯永敏,傅国如,徐志刚.TbDyFe-FeNi多层膜/光纤磁传感器磁敏性能实验研究[J].半导体光电,2006,27(4):419-422. |
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| 作者姓名： | 吕凤军 斯永敏 傅国如 徐志刚 |
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| 作者单位： | 北京航空工程技术研究中心,北京,100076;国防科技大学,航天与材料工程学院,湖南,长沙,410073;国防科技大学,航天与材料工程学院,湖南,长沙,410073;北京航空工程技术研究中心,北京,100076 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射工艺制备了TbDyFe-FeNi多层膜/光纤复合结构,并搭建M-Z干涉仪磁场检测系统对复合结构的磁敏性能进行试验测试.实验结果表明,在调制磁场频率为复合结构的固有频率的条件下,系统对磁场信号感应强度最大;系统输出信号大小随调制磁场强度线性增加,添置恒定直流磁场后,系统响应信号大小明显增强.在0～48 kA/m的直流磁场范围内,干涉仪(传感臂有效长度为10 cm)信号响应灵敏度为6.05×10-5rad/(√Hz·kA·m-1);当多层膜厚度增加到5 μm时,干涉仪信号响应灵敏度变为6.07×10-5rad/(√Hz·kA·m-1).
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| 关 键 词： | 光纤磁场传感器 多层膜 干涉仪 |
| 文章编号： | 1001-5868(2006)04-0419-04 |
| 收稿时间： | 2005-09-01 |
| 修稿时间： | 2005年9月1日 |
TbDyFe-FeNi Multilayers/Optic Fiber Magnetic Sensors |
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| LV Feng-jun,SI Yong-min,FU Guo-ru,XU Zhi-gang.TbDyFe-FeNi Multilayers/Optic Fiber Magnetic Sensors[J].Semiconductor Optoelectronics,2006,27(4):419-422. |
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| Authors: | LV Feng-jun SI Yong-min FU Guo-ru XU Zhi-gang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical fibre magnetic sensor multilayers Interferometer |
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