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| 开管Zn扩散 | |
| 引用本文： | 杨正淮.开管Zn扩散[J].半导体光电,1988(3). |
| 作者姓名： | 杨正淮 |
| 作者单位： | 重庆光电技术研究所 |
| 摘 要： | 本文概述了扩散工艺在半导体光发射器件制作中的作用,进而说明器件批量生产更适宜采用开管扩散工艺手段。最后列举了开管Zn扩散应用于红外发光管制作的成功实验。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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