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| 静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究 | |
| 引用本文： | 孙小伟,齐迎春,金光.静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究[J].半导体光电,2007,28(4):490-493. |
| 作者姓名： | 孙小伟 齐迎春 金光 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130031;中国科学院研究生院,北京,106039 2. 吉林大学,生物与农业工程学院,吉林,长春,130025 3. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130031 |
| 摘 要： | 静电拉伸薄膜反射镜是利用静电场库仑力作用使薄膜产生面形变化,生成所需的光学曲面.由于薄膜反射镜成形过程中力场与静电场的相互耦合作用非常复杂,使其到目前为止在面形控制的理论分析上仍未有定量的结果.首先以平板电容理论为基础,对薄膜成形静电力场进行了近似分析,然后根据半球模型求解了薄膜结构变形,最终得到了薄膜反射镜面形尺寸与静电压参数的函数关系.所得结论对静电拉伸薄膜的研究工作具有一定的指导意义. |
| 关 键 词： | 静电拉伸薄膜反射镜 平板电容 半球模型 薄膜变形 静电 拉伸 薄膜 反射镜 成形过程 机理研究 Mirrors Curvature Electrostatic Membrane Shaping 意义 指导 工作 函数关系 电压参数 尺寸 结构变形 求解 半球模型 |
| 文章编号： | 1001-5868（2007）04-0490-04 |
| 修稿时间： | 2006-10-12 |
Research on Shaping Stretched Membrane with Electrostatic Curvature Mirrors |
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| SUN Xiao-wei,QI Ying-chun,JIN Guang.Research on Shaping Stretched Membrane with Electrostatic Curvature Mirrors[J].Semiconductor Optoelectronics,2007,28(4):490-493. | |
| Authors: | SUN Xiao-wei QI Ying-chun JIN Guang |
| Affiliation: | 1. Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130031 ,CHN; 2. Graduat School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039,CHN; 3. School of Biological and Agricultural Engineering,Jilin University,Changchun 130025,CHN |
| Abstract: | |
| Keywords: | SMEC mirror parallel plate capacity hemisphere mode of deformation of membrane film deformation of membrane film |
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