| 新型非致冷红外探测器 |
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| 引用本文： | 刘兴明,韩琳,刘理天.新型非致冷红外探测器[J].半导体光电,2005,26(5):374-377,385. |
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| 作者姓名： | 刘兴明 韩琳 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学,微电子学研究所,北京,100084;清华大学,微电子学研究所,北京,100084;清华大学,微电子学研究所,北京,100084 |
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| 摘 要： | 介绍了近年来出现的各种新型非致冷红外探测器,对不同探测器的基本工作原理、器件结构、制作工艺以及性能的优缺点进行了讨论和对比,并对非致冷红外探测器的改进方向进行了预测.
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| 关 键 词： | 非致冷红外探测器 微测辐射热计 非晶硅薄膜晶体管 红外探测器 机械式探测器 |
| 文章编号： | 1001-5868（2005）05-0374-04 |
| 收稿时间： | 2005-01-28 |
| 修稿时间： | 2005-01-28 |
New Type of Uncooled Infrared Detector |
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| LIU Xing-ming,HAN Lin,LIU Li-tian.New Type of Uncooled Infrared Detector[J].Semiconductor Optoelectronics,2005,26(5):374-377,385. |
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| Authors: | LIU Xing-ming HAN Lin LIU Li-tian |
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| Affiliation: | Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, CHN |
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| Abstract: | Various kinds of new uncooled infrared detectors recently developed are described. The basic mechanisms, device structures, technology and their performances are discussed and compared, and the optimizing orientation also is predicted. |
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| Keywords: | uncooled infrared detectors micro bolometer amorphous silicon TFT infrared detectors mechanical detector |
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