| 一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计 |
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| 引用本文： | 杨广立,冯飞,熊斌,王跃林.一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计[J].半导体光电,2007,28(3):327-330,337. |
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| 作者姓名： | 杨广立 冯飞 熊斌 王跃林 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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上海市应用材料研究与发展项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种具有"双材料梁-微镜一体化"特征结构的光读出红外成像阵列器件.该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能.通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计.理论计算表明,其关键性能指标的热一机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3 rad/K和2.94 mK.
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| 关 键 词： | 双材料梁-微镜一体化 热-机械灵敏度 热时间常数 噪声等效温差 光读出红外成像阵列器件 非致冷 读出 红外成像 阵列器件 优化设计 Devices Array Infrared Imaging 差分 噪声 机械灵敏度 关键性能指标 计算表 理论 单元尺寸 像素 相关性能 研究 双重功能 光信号 |
| 文章编号： | 1001-5868（2007）03-0327-04 |
| 修稿时间： | 2006-10-24 |
Design of Uncooled Optically Readable Infrared Imaging Array Devices |
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| YANG Guang-li,FENG Fei,XIONG Bin,WANG Yue-lin.Design of Uncooled Optically Readable Infrared Imaging Array Devices[J].Semiconductor Optoelectronics,2007,28(3):327-330,337. |
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| Authors: | YANG Guang-li FENG Fei XIONG Bin WANG Yue-lin |
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| Affiliation: | 1. Graduate School of Chinese Academy of Sciences; 2. State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bi-material beam micro-mirror integrated structures thermal-mechanical sensitivity thermal time constant noise equivalent temperature difference(NETD) optically readable infrared imaging array device |
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