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近空间升华法制备CdTe薄膜
引用本文:蔡伟,张静全,郑家贵,黎兵,蔡亚平,武莉莉,邵烨,冯良桓.近空间升华法制备CdTe薄膜[J].半导体光电,2001,22(2):121-123,127.
作者姓名:蔡伟  张静全  郑家贵  黎兵  蔡亚平  武莉莉  邵烨  冯良桓
作者单位:1. 四川大学 材料科学系,
2. 四川大学 材料科学系,贵州师范大学 物理系,
基金项目:国家“九五”科技攻关资助项目(96-A7-03-02-03);国家自然科学基金资助项目(59672036)
摘    要:研究了初底材料和基片温度对膜微结构的影响。衬底温度在400℃以上薄膜结晶状况较为完整。在结晶状况较好的CdS薄膜上生长的CdTe薄膜晶粒较大,尺寸均匀。在CdTe膜面涂敷CdCl2甲醇溶液,可促进热处理过程中薄膜晶粒的长大。

关 键 词:CdTe薄膜  近空间升华法  太阳电池
文章编号:1001-5868(2001)02-0121-03

Study on Preparation and Structure of CdTe Films
CAI Wei ,ZHANG Jing quan ,ZHENG Jia gui ,LI Bin ,CAI Ya ping ,WU Li li ,SHAO Ye ,FENG Liang huan.Study on Preparation and Structure of CdTe Films[J].Semiconductor Optoelectronics,2001,22(2):121-123,127.
Authors:CAI Wei  ZHANG Jing quan    ZHENG Jia gui  LI Bin  CAI Ya ping  WU Li li  SHAO Ye  FENG Liang huan
Affiliation:CAI Wei 1,ZHANG Jing quan 1,2,ZHENG Jia gui 1,LI Bin 1,CAI Ya ping 1,WU Li li 1,SHAO Ye 1,FENG Liang huan 1
Abstract:CdTe films are prepared by closed-space sublimation technology.Film crystalline dependence on substrate materials and substrate temperature is studied.It is found that films show higher crystallinity at substrate temperature over 400 ℃.And the CdTe films deposited on CdS films with higher crystallinity has bigger crystallite and higher uniformity.Treatment with CdCl2 methanol solution promotes the crystallite growth of CdTe films during annealing.
Keywords:CdTe films  close  space sublimation  solar cells
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