基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计 |
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引用本文: | 史佳欣,陈超,王军.基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计[J].半导体光电,2020,41(1):15-19. |
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作者姓名: | 史佳欣 陈超 王军 |
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作者单位: | 电子科技大学 光电科学与工程学院, 成都 610054,电子科技大学 光电科学与工程学院, 成都 610054,电子科技大学 光电科学与工程学院, 成都 610054 |
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摘 要: | 基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法,采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真,具体工作包括:单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模,结合实际MEMS结构的材料参数,进行了电学与热电耦合多物理场有限元仿真模拟分析。通过仿真优化获得探测单元的主要热电参数、响应时间和响应率,分别为:热导4.31×10-8 W/K、热容2.69×10-10 J/K、电压响应率(未经后端读出电路放大)7 200V/W、热响应时间6.24ms。采用所提出的微桥设计仿真方法,可显著提高器件设计效率和设计精度,缩短研发周期,可满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求。
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关 键 词: | 微测辐射热计 小像元 非致冷红外焦平面探测器 有限元仿真 热电耦合分析 |
收稿时间: | 2019/7/26 0:00:00 |
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