| 光电材料的俄歇电子谱分析 |
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| 引用本文： | 尹燕萍,罗江财,杨晓波,何伟全.光电材料的俄歇电子谱分析[J].半导体光电,2000,21(Z1):84-86. |
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| 作者姓名： | 尹燕萍 罗江财 杨晓波 何伟全 |
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| 作者单位： | 重庆光电技术研究所，重庆 400060 |
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| 摘 要： | 俄歇电子能谱(AES)是测定固体表面元素组分的分析技术。由于AES具有很高的空间分辨率和表面灵敏度，并可以通过离子束溅射刻蚀获得组分深度剖面分布，所以它在各种材料，特别是微电子材料、光电子材料和纳米薄膜材料的分析中应用广泛。文章详细地介绍了PHI595型多探针俄歇电子能谱仪及其在光电子材料分析中的应用。
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| 关 键 词： | 俄歇电子能谱 元素组分 定性分析 组分深度分布 AES element composition qualitative analysis |
| 文章编号： | 1001-5868(2000)01S-0084-03 |
| 修稿时间： | 1999年11月20日 |
AES Analysis of Optoelectronic Materials |
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| YIN Yan-ping,LUO Jiang-cai,YANG Xiao-bo,HE Wei-quan.AES Analysis of Optoelectronic Materials[J].Semiconductor Optoelectronics,2000,21(Z1):84-86. |
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| Authors: | YIN Yan-ping LUO Jiang-cai YANG Xiao-bo HE Wei-quan |
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| Abstract: | Auger electron spectroscopy (AES) is a technique for determination of composition of solid surface. Thanks to its high space-resolution, surface sensitivity and capability of obtaining composition - profile by ion sputtering etching, AES is widely used in the analysis on various materials, especially optoelectronic materials and nanometer thin film materials. This paper describes briefly the application of PH1595 multi-proble AES to analysis of optoelectronic materials. |
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| Keywords: | AES element composition qualitative analysis composition depth profile |
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