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| 全硅片上光互连用波导 | |
| 引用本文： | 代晓光,牛萍娟,张宇,陈弘达,毛陆虹,郭维廉.全硅片上光互连用波导[J].激光与光电子学进展,2006,43(8):27-31. |
| 作者姓名： | 代晓光 牛萍娟 张宇 陈弘达 毛陆虹 郭维廉 |
| 作者单位： | 1. 天津工业大学信息与通信工程学院,天津,300160 2. 中国科学院半导体研究所,北京,100083 3. 天津大学电子信息工程学院,天津,300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;天津市应用基础研究项目 |
| 摘 要： | 较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导（如多晶Si／SiO2、Si／SiO2、Si3N4/SiO2）需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制，总结了目前的研究进展。 |
| 关 键 词： | 光电子集成 光波导 互补型金属氧化物半导体(CMOS) 硅 |
| 收稿时间： | 2006-04-27 |
| 修稿时间： | 2006-04-272006-07-04 |
Optical Waveguide for On-Chip Interconnect |
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| DAI Xiaoguang,NIU Pingjuan,ZHANG Yu,CHEN Hongda,MAO Luhong,GUO Weilian.Optical Waveguide for On-Chip Interconnect[J].Laser & Optoelectronics Progress,2006,43(8):27-31. | |
| Authors: | DAI Xiaoguang NIU Pingjuan ZHANG Yu CHEN Hongda MAO Luhong GUO Weilian |
| Affiliation: | 1. College of Information and Communication Engineering, Tianjin Polytechnic University Tianjin 300160; 2. Institute of Semiconductor, The Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083 ;3. College of Electronics and Information Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072 |
| Abstract: | The waveguides(poly Si/SiO_2,Si/SiO_2,Si_3N_4/SiO_2)for on-chip optical interconnect have been analyzed in detail,including the basic conditions,fabrication method and loss mechanism.The recent progress is summarized. |
| Keywords: | optoelectronic integration optical waveguide complementary metal-oxide semiconductor(CMOS) silicon |
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