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| 深刻蚀光栅及其应用 | |
| 引用本文： | 周常河,冯吉军,郑将军,贾伟,曹红超,吕鹏.深刻蚀光栅及其应用[J].激光与光电子学进展,2009,46(2). |
| 作者姓名： | 周常河 冯吉军 郑将军 贾伟 曹红超 吕鹏 |
| 作者单位： | 中国科学院,上海光学精密机械研究所,信息光学实验室,上海,201800 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，上海市科学技术委员会资助项目 |
| 摘 要： | 深刻蚀光栅是一个新兴的学科方向,具有亚波长和深刻蚀舣重特征的微纳光子学元件,表现出一系列特有的光学效应.石英玻璃是一种优良的光学材料,具有热稳定性能好、透过率高、成本低等优点.基于石英玻璃制作深刻蚀光栅,是实现不同功能光子学器件的一种新技术途径,具有十分重要的应用前景. |
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