凸面锗窗口亚波长抗反射结构的设计与制备 |
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引用本文: | 陈佛奎,丁江,余明,马翠,林慧.凸面锗窗口亚波长抗反射结构的设计与制备[J].激光与光电子学进展,2023(5):232-237. |
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作者姓名: | 陈佛奎 丁江 余明 马翠 林慧 |
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作者单位: | 1. 广西大学机械工程学院;2. 中国科学院深圳先进技术研究院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(U1713210); |
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摘 要: | 红外光学成像系统的灵敏度与光学窗口透射率密切相关,锗窗口是红外光学系统的常用窗口,在锗窗口上制备亚波长结构可以增强抗反射性能从而提高透射率,且常选择凸面窗口以获得更大的视场角。针对在曲面窗口上亚波长结构的制备工艺较为复杂的难题,本文运用柔性紫外纳米压印方法(soft UV-NIL),在凸面锗窗口表面高效、高质量地制作了亚波长抗反射结构。首先基于时域有限差分方法优化设计了亚波长抗反射结构参数,然后基于soft UV-NIL工艺制备了符合设计要求的亚波长结构。测试结果表明,在3.55~5.55μm波长范围内,凸面锗窗口单面平均透射率由65.81%提升到78.68%,在波长为4.4μm处,透射率由65.85%提升至83.13%,实现了中红外宽波段抗反射效果。
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关 键 词: | 光学设计 微结构制造 亚波长结构 柔性紫外纳米压印 抗反射 |
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