|
|||||
|
|
| 基于白光扫描干涉术的非球面光学元件大范围评价方法 | |
| 引用本文： | 马龙,张鸿燕,牛一凡,郭彤.基于白光扫描干涉术的非球面光学元件大范围评价方法[J].激光与光电子学进展,2014,51(6):61207-130. |
| 作者姓名： | 马龙 张鸿燕 牛一凡 郭彤 |
| 作者单位： | 马龙:中国民航大学中欧航空工程师学院, 天津 300300 张鸿燕:中国民航大学中欧航空工程师学院, 天津 300300 牛一凡:中国民航大学中欧航空工程师学院, 天津 300300 郭彤:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51205397)、中央高校基本科研业务费中国民航大学专项(3122014H004) |
| 摘 要： | 通过白光扫描干涉术研究了用于非球面元件的大范围测量方法并利用纳米测量机(NMM)构建了测量系统。对系统的运行环境进行分析,定量给出了评定结果。在系统环境得以保证的前提下,重点研究了无重叠拼接方法,并将结果进行了对比;针对周期性非球面光学表面,提出通过白光倾斜扫描干涉法进行测量。扫描过程中,测试样品倾斜通过干涉区,消除了物镜视场的影响,使毫米量级表面一次扫描即可完成测量。针对扫描过程,分析了扫描过程中干涉条纹移出视场现象及双角度不一致对测量结果的影响。 |
| 关 键 词： | 测量 大范围评价 无重叠拼接 白光倾斜扫描干涉术 非球面光学元件 |
| 收稿时间： | 2014/1/14 |
Large Range Evaluation Method Based on White Light Scanning Interferometry for Aspheric Optical Elements |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | measurement large range evaluation non-overlapping stitching white light tilted scanning interferometry aspheric optical elements |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |