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基于迭代梯度算法的子孔径拼接检测技术研究
引用本文:郑立功,闫力松,王孝坤,薛栋林,胡海翔,张学军.基于迭代梯度算法的子孔径拼接检测技术研究[J].激光与光电子学进展,2014,51(1):11202.
作者姓名:郑立功  闫力松  王孝坤  薛栋林  胡海翔  张学军
作者单位:郑立功:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033
闫力松:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033中国科学院大学, 北京 100049
王孝坤:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033
薛栋林:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033
胡海翔:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033中国科学院大学, 北京 100049
张学军:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033
基金项目:国家自然科学基金(61036015)、国家863计划(O8663NJ090)
摘    要:为了解决粗大调整误差下大口径光学平面镜的子孔径拼接检测问题,基于迭代梯度算法,建立了一套合理的拼接算法和数学模型,同时编制了拼接程序。结合工程实例,利用Φ600mm干涉仪实现了对Φ800mm平面镜的拼接测量。检测中,基于靶标对各子孔径实现对准,拼接所得面形光滑连续无狭缝。实验结果表明,利用迭代梯度算法可以高精度地完成粗大调整误差下大口径平面镜的拼接检测。

关 键 词:测量  光学检测  干涉测量  子孔径拼接
收稿时间:2013/8/9

Research on Sub-Aperture Stitching Testing Technology Based on Iterative Gradient Algorithm
Abstract:
Keywords:measurement  optical testing  interferometry  sub-aperture stitching
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