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斜入射法检测平面反射镜的面形误差
引用本文:马春桃,罗红心,王劼,宋丽.斜入射法检测平面反射镜的面形误差[J].激光与光电子学进展,2011(7).
作者姓名:马春桃  罗红心  王劼  宋丽
作者单位:中国科学院上海应用物理研究所;上海光源;
摘    要:为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测,发展了斜入射检测方法,增大投射到待测镜上光斑的尺寸,从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜入射法检测平面反射镜面形的公式,并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124 mm×42 mm的平面反射镜分别在垂直和不同斜入射角条件下进行了测量,垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根(RMS)和峰谷(PV)值分别为16.3 nm和67.8 nm,斜入射时测得镜子工作表面的面形起伏高度RMS和PV值分别为16.8 nm和68.7 nm,相对误差分别为3%和0.9%,可以满足第三代同步辐射光束线的要求。

关 键 词:测量  镜面面形  斜入射法  ZYGO干涉仪  斜率误差  

Surface Error Measurement of Plane Mirrors Based on Oblique Incidence
Ma Chuntao Luo Hongxin Wang Jie Song Li.Surface Error Measurement of Plane Mirrors Based on Oblique Incidence[J].Laser & Optoelectronics Progress,2011(7).
Authors:Ma Chuntao Luo Hongxin Wang Jie Song Li
Affiliation:Ma Chuntao Luo Hongxin Wang Jie Song Li(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,Shanghai Institute of Applied Physics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201204,China)
Abstract:
Keywords:measurement  surface shape of mirror  oblique incidence  ZYGO interferometer  slope error  
本文献已被 CNKI 等数据库收录!
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