|
|||||
|
|
| 微加工应用激光设计的革新 | |
| 引用本文： | 友清.微加工应用激光设计的革新[J].激光与光电子学进展,1997,34(12):32-33. |
| 作者姓名： | 友清 |
| 摘 要： | 加州新波研究公司制造的小型闪光灯泵Nd：YAG激光器增进了对半导体损伤的分析和液晶显示器的修复。1996年初推出QukLaze装置也是电阻修饰和熔丝熔断的有效工具，可以用于陶瓷上金制多芯片组件之类的金属汇流排的切割。为了执行连贯器件上的重复性任务，精密激光微加工需有能以复杂图样方式移动的工作表面和一种观察加工区域的手段。为满足这种要求，QuikLaze装置设计成可以装配马达移动台结构，从而可使元件在光束下面作两维移动。光束可用任选的FS60系列显示镜或A-变焦镜聚焦。闪光灯泵激光器在三个波长上工作：即1064、532和355nm。… |
| 关 键 词： | 微加工 激光设计 激光器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |